•软X射线共振弹性散射仪(REXS)：性能指标参见下表。该散射仪具有样品6轴、探测器3轴的自由度、PD/CCD/电子倍增器三款探测器共架、与腔体振动隔离、样品点处能冷却至10K附近的特点。
| 能量范围 | 150 ~ 1500 eV |
| 光通量 @244eV | 3×1012phs/s |
| 光斑大小(H×V) /发散角 | 400×20 μm2 /2mrad |
| q值范围（Cu边） | 0.025-8.6nm-1 |
| 真空度 | <10-9mbar |
•配套进样预处理系统（快速进样室、样品准备腔）
图5. 共振弹性散射站（量子晶体）散射仪及进样预处理系统
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