•软X射线共振弹性散射仪(RoSXS): 性能指标参见下表。该散射仪具有快开门进样、多样品阵列、大q范围（亚微米到1nm尺度）、透射/反射模式、原位加热拉伸的特点。
图6. 弹性散射站（有机薄膜）散射仪
| 能量范围 | 150 ~ 1500 eV |
| 光通量@244eV | 3×1012phs/s |
| 光斑大小(H×V) /发散角 | 1500×250 μm2/2mrad |
| q值范围(C边） | 0.005-1.9nm-1 |
| 真空度 | 10-6mbar |
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