线站设备

发射谱站主要设备

发布时间：2024-11-06 【小中大】

•软X射线荧光谱仪（发射谱仪）：指标参见下表

图3. 发射谱站软X射线荧光谱仪(发射谱仪)

指标	实测达标值
能量范围(eV)	150～1500
能量分辨率	58meV@450eV
光斑大小 (H×V μm²）	23×8

•配套进样系统（load lock、手套箱、真空互联）:

图4. 发射谱站配套进样系统

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