前端区光束放出角为0.3×0.3 mrad2，光束经过水冷四刀狭缝后出，分成两束分时工作。主光束线用作STXM光束线；分支线由一偏转镜系统（平面镜+超环面镜）引出，用做X射线干涉光刻（XIL）使用。该偏转镜系统可上下或水平平移，放出光束供STXM使用。四刀狭缝的另一个功能是吸收大部分的辐射功率，保护下游光学元件。第一块柱面镜(CM)使入射光沿水平方向偏转3o，表面镀金，主要用于准直弧矢面上的入射光束，产生垂直方向的平行光束。同时也兼高频滤波作用，截掉2000eV以上的高能辐射，降低下游元件的热负载。由于第一块柱面镜接受的热负载较大，故需直接水冷。

光束线原理示意图