线站介绍

实验站

发布时间：2024-05-29 【小中大】

10nm聚焦实验区域

50nm聚焦实验区域

探测器：Pilatus3X S 2M面探测器；Merlin 4X面探测器；Vortex-ME3荧光探测器（三通道）；OKEN气体电离室；CMOS探测器

聚焦系统：KB镜

样品台：高真空高精度压电扫描台、旋转台、偏摆台

原位设备：原位加热芯片

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数据采集与处理