BL13U

硬X射线纳米探针光束线站
样品准备
1、氮化硅芯片：样品沉积在芯片上，通过SEM定位样品与标记线（点）距离，置入腔体后根据标记线（点）寻找样品。
2、毛细管：粉末样品沿毛细管漏斗倒入毛细管内，样品静电吸附在管壁。
3、针尖：特殊样品通过FIB焊接到针尖

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