BL08U1A

软X射线谱学显微光束线站
实验方法原理

扫描相干衍射成像(Ptychography,PCDI)

发布时间:2024-08-02
将STXM的探测器换成CCD,并对样品进行重叠扫描,结合迭代相位恢复重建算法,就可实现高分辨的扫描相干衍射成像,分辨率可达5-10nm。BL08U1A线站成功建立了扫描相干衍射成像实验方法,将上海光源空间分辨能力由30nm提升至8nm,成像剂量降低至STXM技术的1/12,综合性能居于国际最好水平之列。[J. Phys. Conf. Ser. 2017, 849, 012033]
星型靶的扫描相干衍射成像(PCDI)与STXM成像结果对比(左图和中图),以及PCDI图像的分辨率分析(右图),得到了8.1nm的分辨率。
碳纤维厚样品的虚拟深度扫描相干衍射三维成像
样品无需旋转,只需采集一套二维扫描CDI数据,就可通过虚拟深度扫描ptychography方法实现厚样品的快速三维成像。[Optics Express 29, 16214 (2021)]
碳纤维厚样品虚拟深度扫描成像结果,显示了不同深度处(1μm, 19.1μm, 25.2μm, 34.3μm, 38.9 μm 和45.0 μm)的结构图像。二维分辨率达到9nm,深度分辨率约为0.65μm。

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