(1)傅里叶变换红外光谱仪的样品准备：
通常用的是压片法，适合粉末等样品，需要参杂一定比例的KBr粉末。研磨要精细，避免颗粒不均匀产生散射，造成基线不平。
(2)红外显微镜的样品准备：
通常用的是切片法。在利用红外显微镜的透射模式时，需要将厚度控制在5-15μm之间，具体切片厚度可根据样品的吸收情况而定。然后将切片样品放置在红外透光基片上（BaF2、CaF2等材料）。建议基片尺寸为：直径30 mm，厚度1 mm。
(3)红外近场扫描光学显微镜的样品准备：
a.最大样品尺寸：20 x 20 x 10 mm，可检测区域：在样品中心位置10mm之内；
b.样品起伏< 1 μm，RMS < 100 nm，样品起伏越小、平面越平整，更容易获得准确的结果；
c.如需要制备超薄样品< 50 nm时，需要制备在平整的金基底上（RMS < 1 nm）；
d.切片/冷冻切片，厚度＞100 nm，薄片沉积在镀金硅片、红外光透光基片（如：ZnS, ZnSe, BaF2）或云母片等表面平整的基片上。
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