XIL分支线站的建设，旨在在上海光源建立一个高效率、低成本、高精度的纳米加工技术平台，满足EUV光刻技术研发、纳米光学、纳光电子器、X射线探测器、纳米磁学、生物分子自组装及工业应用领域的用户在纳米结构制备、组装方面的迫切需要。

                                                             EUV光刻胶检测                                      表面增强拉曼散射（SERS）研究                         自溯源参考物质制备