XIL线站有实现100nm曝光的在线曝光功能，为了配合后续的样品加工及制备，XIL线站配备有专门的后处理实验室。主要有甩胶机、电子束光刻机、紫外光刻机、电子束蒸镀机、ICP刻蚀机等加工设备以及测量结构深度的原子力显微镜等。以上设备均对用户开放。
ICP刻蚀机 电子束蒸镀机 电子束曝光机
