软X射线干涉光刻线站（BL08U1B）是原有软X扫描投射显微谱学线站（BL08U1A）的分支线，二者共用同一前端区和光源。下图为XIL分支光束线光学布局示意图。它由插入式光束偏转系统、精密狭缝系统及超高真空系统组成。该束线将工作于光栅分束衍射XIL模式。
XIL分支线光学布局示意图
