l STXM主体显微系统：波带片（ZP 及其三维扫描平台；
l 级选光阑（OSA）及其三维扫描平台；
l 样品槽及其三维扫描平台和He-Ne激光干涉定位系统等；
l 探测器：光电倍增管（PMT）；光电二极管 （PD）；CCD；光学显微镜；
l 数据采集、控制和数据处理和存储系统。
