院维修改造项目“软X射线干涉光刻分支线站的建设”通过工艺测试

2012年11月29日，中国科学院基础科学局组织专家对大科学装置维修改造项目“软X射线干涉光刻分支线站的建设”进行技术指标工艺测试。测试会由基础科学局大科学工程与核科学处副处长曾钢主持，来自中国科学院物理所、高能物理所、上海技术物理所、中国科技大学、微电子所、理化所、上海应用物理所等单位的7位专家组成审核专家组，麦振洪研究员任专家组长。中国科学院计划财务局领导出席了本次会议。

专家组听取了项目负责人邰仁忠研究员的项目工艺报告和自测结果报告，经过认真讨论，确定了测试大纲，随后查阅了相关资料并进行了现场测试，测试结果表明，软X射线干涉光刻分支线站的各项技术指标均达到了项目任务书的要求。

“软X射线干涉光刻（XIL）分支线站建设项目”是上海光源承担的中国科学院大科学装置维修改造项目。项目的主要任务是在上海光源软X射线谱学显微光束线站（BL08U-1A）的基础上，建设XIL分支光束线和实验站，充分拓展主线站（BL08U-1A）的用途，建立大面积、高分辨的微、纳加工技术。XIL与主线站结合，可以使纳米结构的制备、组装和结构表征、观察在同一条光束线站上完成，为用户提供一个研究纳米材料和器件的一体化平台。项目于2009年4月正式启动，至2011年底所有设备安装在线调试完毕，2012年1月对用户开放试运行。（大科学装置管理部 供稿）

软X射线干涉光刻分支线站（BL08U1-B）主要设备