BL20U2

E-line软X射线散射光束线站
发射谱站主要设备
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•软X射线荧光谱仪（发射谱仪）：指标参见下表
图3. 发射谱站软X射线荧光谱仪(发射谱仪)
 指标  实测达标值
 能量范围(eV)  150～1500
 能量分辨率  58meV@450eV
 光斑大小 (H×V μm2）  23×8
•配套进样系统（load lock、手套箱、真空互联）: 
图4. 发射谱站配套进样系统
弹性散射站(量子晶体专用）主要设备
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•软X射线共振弹性散射仪(REXS)：性能指标参见下表。该散射仪具有样品6轴、探测器3轴的自由度、PD/CCD/电子倍增器三款探测器共架、与腔体振动隔离、样品点处能冷却至10K附近的特点。
能量范围  150 ~ 1500 eV 
光通量 @244eV  3×1012phs/s 
光斑大小(H×V) /发散角  400×20 μm2 /2mrad 
q值范围（Cu边）  0.025-8.6nm-1 
真空度  <10-9mbar 

•配套进样预处理系统（快速进样室、样品准备腔）
图5. 共振弹性散射站（量子晶体）散射仪及进样预处理系统 
弹性散射站(有机薄膜/聚合物专用）主要设备
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•软X射线共振弹性散射仪(RoSXS): 性能指标参见下表。该散射仪具有快开门进样、多样品阵列、大q范围（亚微米到1nm尺度）、透射/反射模式、原位加热拉伸的特点。
图6. 弹性散射站（有机薄膜）散射仪
 能量范围 150 ~ 1500 eV 
 光通量@244eV 3×1012phs/s
 光斑大小(H×V) /发散角 1500×250 μm2/2mrad 
 q值范围(C边） 0.005-1.9nm-1 
 真空度 10-6mbar