(1) X射线反射率测量（XRR）
在薄膜/超薄膜表面、多层膜界面粗糙度、超晶格及δ掺杂结构研究中有独特而广泛的应用。
(2)高分辨粉末衍射 （XRD）
提高数据精修和解析晶体结构的能力。
(3) 掠入射角衍射（GIXRD）
主要应用于薄膜样品面外/面内/表面结构的测量。
(4) 掠入射广角散射（GIWAXS）
GIWAXS主要是通过X射线以接近全反射角范围附近掠入射到样品表面，可以得到样品表面层散射体的形状、尺寸和分布等信息。
(5) RSM（reciprocal space mapping）
倒易空间mapping测量可以观察到倒易格点附近的形变等信息，是薄膜、外延生长等应变研究的重要方法之一。
(6）极图测量
用于研究材料的织构、镶嵌结构、外延膜与衬底共格关系等
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