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微束系统采用KB镜聚焦,镜面有Rh和Pt双镀层,聚焦光子能量范围为3~35 keV。聚焦光斑尺寸为11×14 μm2、聚焦光通量为5.8×1010 phs/s(@20keV Si(111) @300mA)。微聚焦焦点处配有多维样品台,系统常配探测器为Pilatus 3X 2M,用于二维微聚焦衍射实验。
KB聚焦系统
Pilatus2M探测器
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