
图3. X光学测试线实验站检测区域
1)检测能力
►晶体单色器:
Bragg轴重复性精度;出射光束位置/指向稳定性;能量分辨率、通量稳定性;热形变;
►分光晶体:
本征角宽度;髙指数面晶体定向;抛光、腐蚀、非对称切割等影响;
►反射镜、多层膜:
反射率;膜层几何参数;
►压弯机构:
聚焦效果;光束位置/指向稳定性;
►单色光狭缝:
刀口形状,平行度;单向运动定位精度;
►光束位置探测器:
测量精度/分辨率标定;重复性、稳定性;
2)检测方法
►衍射方法:
a)X射线高分辨衍射(△E/E=10-6);
b)高能劳厄X射线衍射;
c)微束白光劳厄衍射;
►成像方法:
a)X射线晶体形貌术;
b)白光快速成像;
c)X射线波前检测技术;