BL08U1B

软X射线干涉光刻分支线站
线站设备
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曝光腔： 光电二级管、掩模样品台、CCD相机
产气检测腔：质谱仪，样品架
辅助实验室：ICP刻蚀机、电子束蒸镀机、电子束光刻机、紫外光刻机、椭圆偏振仪、金相显微镜、等离子去胶机和激光切割机等 
图1 曝光腔、产气检测腔和掩模样品台