·TEY (Total electron yield, 全电子产额)，在真空腔内测试，衡量的是从样品中发射的整个电子范围，主要分析样品表面信息，硫K边的取样深度一般在70nm左右。

·荧光XAFS (X-ray Absorption Fine Structure，X射线吸收精细结构)，荧光XAFS对样品的测试可深入到块体，适用于低浓度样品。

·透射XAFS，是样品中高浓度元素XANES/EXAFS测试的最佳测试方法。