1.能量分析器：R4000 HiPP3 具有超高电子能量分辨能力，能量分辨率大于4000。
2.氩枪：样品处理，3KV，10mA发射电流。
3.低能电子衍射仪：本光谱仪拟采用OCI vacuum Microengineering Inc公司研制的BDL600IR低能电子衍射光谱仪，电子能量范围0-1000eV，收缩距离为100mm，荧光屏配备挡板，工作距离可以自行指定。
4.激光加热仪：PRE-VAC公司激光控制器，PID控制，加热温度范围300K-1500K，可手动或自动控制。
5.蒸发源：费勉公司低温、和高温蒸发源。
6.质谱: 质量范围: 1-300amu；探测器: C-SEM/Faraday；离子源: 开放式离子源；灯丝: 铱丝；真空要求：＜5*10^-4hPa；检出限: 5*10^-15mbar。
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